品質

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品質保證

項目	品名	檢驗點	Analysis Tools
原物料	金屬銦	純度>99.995%	ICP-OES
	其他添加劑	電子級
	化學添加劑
	製程氣體
中間產物	粉末	不純物粒徑 In2O3/SnO2 wt%(+-0.5%)	ICP-OES Particle Size Analyzer XRF
中間產物	未加工靶材	不純物粒徑 In2O3/SnO2 wt%(+-0.5%)	ICP-OES Particle Size Analyzer XRF
成品	ITO 靶材	相對密度 (>99.3%) 不純物重量尺寸外觀	ICP-OES 眼睛

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